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單晶爐用干式螺桿真空泵組

單晶爐用干式螺桿真空泵組

功  率:3+4.5 kW

抽氣速率:630/756 m3/h

壓  力:≤0.2/≤0.1 Pa

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性能優(yōu)勢(shì) Performance Advantages

 

· 無(wú)油氣污染工藝設(shè)備,可獲得清潔零件表面;

· 被抽氣體不會(huì)被污染,為期可進(jìn)行回收利用;

· 無(wú)油氣、油煙等有害氣體排放,有利于環(huán)境保護(hù);

· 避免因泵腔內(nèi)潤(rùn)滑油乳化、變質(zhì)而出現(xiàn)的運(yùn)行故障,提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性;

· 可單獨(dú)使用,進(jìn)氣壓力在1Pa至大氣壓下均能正常工作,抽氣效率高,可大幅度簡(jiǎn)化真空系統(tǒng);

· 機(jī)組可作為前級(jí)泵使用,與羅茨泵、分子泵等組合成多級(jí)無(wú)油真空機(jī)組,以獲得更大與更高的真空度;

· 轉(zhuǎn)子間無(wú)接觸、無(wú)磨損,零件損耗小,使用壽命長(zhǎng);

· 泵腔內(nèi)采用間隙密封,對(duì)少量粉塵不敏感;

· 智能控制模式,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),并針對(duì)異常情況做出報(bào)警;

· 模塊化設(shè)計(jì),整機(jī)體積小,方便移動(dòng);

· 可變頻運(yùn)行,節(jié)能效果好;

· 采用一體化水冷電機(jī)設(shè)計(jì),運(yùn)行噪音低,震動(dòng)??;

 

 

 

 

機(jī)組內(nèi)容  Unit Content



 
 
技術(shù)參數(shù)  Technical parameter

應(yīng)用行業(yè) Application Industry

☆  化工                                                                                                                  ☆  光伏

☆  制藥                                                                                                                  ☆  汽車

☆  鋰電池                                                                                                              ☆  香料

☆  冶金                                                                                                                  ☆  航空航天

☆  鍍膜                                                                                                                  ☆  科研院所

☆  新能源                                                                                                              ☆  半導(dǎo)體

行業(yè)應(yīng)用
 


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